Aplicațiile microscoapelor confocale în industria semiconductoarelor
În procesul de producție de semiconductori la scară mare-, este necesar să se depună cipuri de circuit integrat pe placă, apoi să le împartă în diferite unități și, în final, să le împacheteze și să le lipiți. Prin urmare, controlul și măsurarea precisă a mărimii canelurii de tăiere a plachetelor este o verigă crucială în procesul de producție.
Microscopul confocal din seria VT6000 este un echipament de inspecție microscopic lansat de Zhongtu Instrument, utilizat pe scară largă în procesele de fabricare și ambalare a semiconductorilor. Poate efectua scanare fără-contact și reconstrui morfologia tri-dimensională a caracteristicilor suprafeței cu forme complexe și caneluri abrupte de tăiere cu laser.
Microscopul confocal din seria VT6000 are o rezoluție optică excelentă și poate observa caracteristicile suprafeței plachetei în detaliu printr-un sistem de imagine clar, cum ar fi observarea dacă există defecte, cum ar fi ruperea marginilor și zgârieturile pe suprafața plachetei. Turnul electric poate comuta automat între diferite măriri ale obiectivelor, iar software-ul captează automat marginile caracteristicilor pentru măsurarea rapidă a dimensiunii bi-dimensionale, detectând astfel mai eficient și controlând calitatea suprafeței plachetei.
În procesul de tăiere a plachetelor cu laser, este necesară o poziționare precisă pentru a se asigura că canelurile pot fi tăiate de-a lungul conturului corect al plachetei. Calitatea segmentării plachetei este de obicei măsurată prin adâncimea și lățimea canelurilor de tăiere. Microscopul confocal din seria VT6000, bazat pe tehnologie confocală și echipat cu module de scanare-de mare viteză, are software profesional de analiză cu funcții de măsurare automată și multizonă. Poate reconstrui rapid conturul tri-dimensional al canelurii laser a plachetei testate și poate efectua analize cu mai multe profiluri pentru a obține informații despre adâncimea și lățimea canalului-secțiunii transversale.
