Metoda de măsurare a compensației temperaturii pentru indicatorul de grosime a acoperirii
Metoda de măsurare a compensației temperaturii a indicatorului de grosime a stratului include etapa de calibrare a coeficientului de temperatură, etapa de calibrare zero de pornire și etapa de lucru pentru măsurarea grosimii și, în final, calculează valoarea grosimii reale a stratului dx; folosind corelația dintre modificarea câmpului electromagnetic al bobinei inductorului și temperatură, adică în Valoarea de la capătul infinitului este măsurată o dată în timpul procesului de măsurare, iar coeficientul de modificare a temperaturii la capătul infinitului este proporțional cu coeficientul de modificare a temperaturii când sonda de măsurare este aproape de substratul obiectului măsurat pentru măsurare. Utilizarea acestei funcții pentru a realiza compensarea temperaturii poate reduce cât mai mult posibil eroarea de măsurare a temperaturii. Eroarea de măsurare a acestei metode poate fi controlată practic cu 1 la sută, în timp ce standardul nostru național actual necesită 3 la sută. Prin comparație, eroarea de măsurare a acestei metode poate fi controlată cu 1 la sută. Precizia de măsurare a atins acuratețea de măsurare a mașinilor de marcă internațională și este încă la un nivel foarte ridicat în China.
