Avantajele microscopiei electronice cu scanare
1. Mărire
Deoarece dimensiunea ecranului fluorescent al microscopului electronic cu scanare este fixă, modificarea măririi se realizează prin modificarea amplitudinii de scanare a fasciculului de electroni de pe suprafața probei.
Dacă curentul bobinei de scanare este redus, intervalul de scanare al fasciculului de electroni de pe eșantion va fi redus și mărirea va fi mărită. Ajustarea este foarte convenabilă și poate fi ajustată continuu de la 20 de ori la aproximativ 200,000 ori.
2. Rezoluție
Rezoluția este principalul indice de performanță al SEM.
Rezoluția este determinată de diametrul fasciculului de electroni incident și de tipul semnalului de modulație:
Cu cât diametrul fasciculului de electroni este mai mic, cu atât rezoluția este mai mare.
Semnalele fizice diferite utilizate pentru imagistica au rezoluții diferite.
De exemplu, electronii SE și BE au intervale de emisie diferite pe suprafața probei, iar rezoluțiile lor sunt diferite. În general, rezoluția lui SE este de aproximativ 5-10 nm, iar cea a lui BE este de aproximativ 50-200 nm.
3. Adâncimea câmpului
Se referă la o gamă de capacități pe care un obiectiv le poate focaliza și imagine simultan pe diferite părți ale unui eșantion cu neuniformități.
Lentila finală a microscopului electronic cu scanare adoptă un unghi de deschidere mic și o distanță focală mare, astfel încât se poate obține o adâncime mare de câmp, care este de 100-500 ori mai mare decât cea a unui microscop optic general și de 10 ori mai mare decât cel al unui microscop electronic cu transmisie.
Profunzimea mare de câmp, simțul tridimensional puternic și forma realistă sunt caracteristicile remarcabile ale SEM.
Specimenele pentru SEM sunt împărțite în două categorii:
1 este o probă cu conductivitate bună, care în general își poate menține forma inițială și poate fi observată la microscop electronic fără sau cu puțină curățare;
2. Probele neconductoare sau probele care pierd apă, eliberează gaze, se contractă și se deformează în vid, trebuie tratate corespunzător înainte de a putea fi observate.
