Avantajele microscopului electronic cu scanare
1. Factorul de mărire
Datorită dimensiunii fixe a ecranului fluorescent al microscopului electronic cu scanare, modificarea măririi se realizează prin modificarea amplitudinii de scanare a fasciculului de electroni de pe suprafața probei.
Dacă curentul bobinei de scanare este redus, amplitudinea de scanare a fasciculului de electroni de pe probă va scădea, iar factorul de amplificare va crește. Reglarea este foarte convenabilă și poate fi ajustată continuu de la 20x la aproximativ 200000 de ori.
2. Rezoluție
Rezoluția este principalul indicator de performanță al microscopiei electronice cu scanare.
Rezoluția este determinată de diametrul fasciculului de electroni incident și de tipul semnalului de modulație Codeterminare:
Cu cât diametrul fasciculului de electroni este mai mic, cu atât rezoluția este mai mare.
Semnalele fizice utilizate pentru imagini variază în rezoluție.
De exemplu, electronii SE și BE au intervale de emisie și rezoluții diferite pe suprafața probei. Rezoluția SE este în general de aproximativ 5-10nm, în timp ce cea a BE este de aproximativ 50-200nm.
3. Adâncimea câmpului
Se referă la capacitatea unui obiectiv de a focaliza și imagine simultan diferite părți ale unui eșantion neuniform.
Lentila finală a microscopului electronic cu scanare folosește o deschidere unghiulară mică și o distanță focală mare, astfel încât se poate obține o adâncime mare de câmp. Este de 100-500 ori mai mare decât adâncimea de câmp a microscopului optic general și de 10 ori mai mare decât adâncimea de câmp a microscopului electronic cu transmisie.
Caracteristicile proeminente ale SEM sunt adâncimea mare de câmp, simțul puternic tridimensional și morfologia realistă.
Probele utilizate pentru microscopia electronică cu scanare sunt împărțite în două categorii:
1 este o probă cu conductivitate bună, care își poate menține în general forma inițială și poate fi observată la microscop electronic fără sau cu o ușoară curățare;
2 este o probă neconductivă sau o probă cu pierdere de apă, eliberare de gaz sau deformare prin contracție în vid, care trebuie tratată corespunzător înainte de a putea fi observată.
