Numele și funcția fiecărei părți a microscopului confocal
Bazat pe principiul tehnologiei confocale, microscopul confocal este utilizat pentru a măsura suprafața diferitelor dispozitive și materiale de precizie la nivel micro și nano și poate imaginea direct morfologia suprafeței probelor de material, cu o rezoluție laterală de până la 1 nm. și o rezoluție pe axa Z de până la 0,5 nm. Nu numai că poate măsura morfologia suprafeței probei și oferă funcția de caracterizare a morfologiei microscopice a măsurării dimensiunii profilului, dar poate oferi și cinci funcții analitice majore, cum ar fi analiza rugozității, analiza profilului geometric, analiza structurală, analiza frecvenței și funcțional. analiză. De asemenea, sunt furnizate analiza rugozității, analiza profilului geometric, analiza structurală, analiza frecvenței și analiza funcțională.
Analiza rugozității include analiza cu parametri completi în conformitate cu rugozitatea liniei ISO4287, rugozitatea suprafeței ISO25178, planeitatea ISO12781 etc.; analiza geometrică a conturului include înălțimea pasului, distanța, unghiul, curbura și alte măsurători de caracteristici și evaluarea dreptății, rotunjimii și toleranței formei; analiza structurală include volumul găurilor și adâncimea jgheabului etc.; analiza de frecvență include direcția granulului și analiza spectrului; analiza funcțională include analiza direcției și a spectrului de frecvență; analiza de frecvență include analiza direcției și a spectrului de frecvență; și analiza funcțională este, de asemenea, disponibilă. Analiza de frecvență include direcția texturii și analiza spectrului; Analiza funcțională include parametrii SK și parametrii de volum.
Structura microscopului confocal constă în principal din: microscop, sursă de lumină laser, dispozitiv de scanare, detector, sistem informatic (inclusiv achiziție de date, procesare, conversie, software de aplicație), dispozitiv de ieșire a imaginii, dispozitiv optic și sistem confocal.
În domeniul ceramicii, metalelor, semiconductorilor, cipurilor și al altor materiale știința și inspecția producției, microscopul confocal are o gamă largă de aplicații. Microscop confocal bazat pe principiul microscopiei confocale, scanarea fără contact a suprafeței dispozitivului și stabilirea imaginii 3D de suprafață, prin intermediul software-ului de sistem pe suprafața dispozitivului de prelucrare și analiză a datelor de imagine 3D, astfel încât să se obțină 2D, 3D parametrii care reflectă calitatea suprafeței dispozitivului, pentru a realiza măsurarea 3D a morfologiei suprafeței dispozitivului.
Poate fi utilizat pe scară largă în fabricarea semiconductorilor și inspecția procesului de ambalare, ecranul electronic din sticlă 3C și piesele sale de precizie, procesarea optică, fabricarea de micro-nano-materiale, piese auto, dispozitive MEMS și alte industrie de prelucrare de ultra-precizie și aerospațială, institute de cercetare științifică și alte domenii. Măsurați și analizați profilul suprafeței, defectele suprafeței, uzura, coroziunea, planeitatea, rugozitatea, ondularea, spațiul liber al porilor, înălțimea treptei, deformarea la îndoire, prelucrarea și alte caracteristici ale suprafeței diferitelor produse, componente și suprafețe ale materialelor.
