Aplicarea microscopului cu infraroșu în microdispozitive din industria electronică
Direcția de aplicare: funcția microscopului cu infraroșu în măsurarea temperaturii dispozitivelor micro semiconductoare.
În al doilea rând, fundalul:
Odată cu dezvoltarea nanotehnologiei, miniaturizarea sa de sus în jos a fost din ce în ce mai aplicată în domeniul tehnologiei semiconductoarelor. Obișnuiam să numim tehnologie IC tehnologie „microelectronica”, deoarece dimensiunea tranzistoarelor este la nivelul microni (10-6 metri). Cu toate acestea, tehnologia semiconductoarelor se dezvoltă foarte rapid și va progresa cu o generație la fiecare doi ani, iar dimensiunea sa va fi redusă la jumătate din dimensiunea inițială. Aceasta este celebra lege a lui Moore. Cu aproximativ 15 ani în urmă, semiconductorii au început să intre în era sub-micronului, adică mai puțin de microni, și apoi a existat o eră a sub-micronului profund și mult mai mic decât micronul. Până în 2001, dimensiunea tranzistorului era chiar mai mică de 0,1 microni, adică mai puțin de 100 de nanometri. Prin urmare, este epoca nano-electronicii și cea mai mare parte a viitorului IC va fi făcută din nano-tehnologie.
În al treilea rând, cerințele tehnice:
În prezent, principala formă de defecțiune a dispozitivelor electronice este defecțiunea termică. Conform statisticilor, 55% din defecțiunile dispozitivelor electronice sunt cauzate de temperatura care depășește valoarea specificată. Odată cu creșterea temperaturii, rata de defecțiuni a dispozitivelor electronice crește exponențial. În general, fiabilitatea de funcționare a componentelor electronice este extrem de sensibilă la temperatură, iar fiabilitatea va scădea cu 5 procente pentru fiecare creștere cu 1 grad a temperaturii dispozitivului la nivelul de 70-80 grade. Prin urmare, este necesar să se detecteze temperatura dispozitivului rapid și fiabil. Pe măsură ce dimensiunea dispozitivelor semiconductoare devine din ce în ce mai mică, sunt prezentate cerințe mai mari pentru rezoluția temperaturii și rezoluția spațială a echipamentelor de detectare.
În al patrulea rând, trageți harta termică la fața locului (locație: un model cunoscut de institut de cercetare științifică: INNOMETE SI330)
