Sistem de imagistică cu microscop electronic
1. Lentila obiectivă și stigmatizator
Lentila obiectiv este prima lentilă de imagistică a sistemului de imagistică. Performanța unui microscop electronic este determinată în principal de caracteristicile optice ale lentilei obiectiv. Orice imperfecțiuni ale lentilei obiectiv vor fi mărite și mai mult de alte lentile din sistemul de imagistică. Prin urmare, aberația lentilei obiectiv trebuie să fie cât mai mică posibil, iar mărirea este suficient de mare, iar obiectivul cu excitație puternică, distanță focală scurtă (1,5-3mm) și diafragma obiectivului sunt de obicei folosit pentru a reduce aberația sferică. Deoarece deschiderea optică este prea mică, rezoluția lentilei obiectiv va fi redusă din cauza efectului de difracție, iar interferența fasciculului de electroni va fi puternică din cauza efectului de poluare al marginii optice, astfel încât deschiderea optică nu poate fi prea mică. .
Stigmatizatorul este o parte importantă pentru a se asigura că rezoluția lentilei obiectiv este îmbunătățită. Utilizează un câmp magnetic cu putere și orientare reglabile pentru a corecta astigmatismul axial cauzat de lentila obiectiv neaxisimetric.
Stigmatizatorul electromagnetic utilizat în mod obișnuit este compus din două grupuri de patru perechi de electromagneți instalați uniform în jurul spațiului dintre piesele polare. Cele două câmpuri magnetice de corectare eliptice formate sunt perpendiculare unul pe celălalt, iar prin modificarea intensității excitației și a direcției câmpului magnetic al celor două seturi de electromagnetice — se poate forma un câmp magnetic corector simetric nerotațional. Dacă puterea sa este egală cu câmpul de astigmatism al lentilei, iar direcțiile sunt perpendiculare între ele, se poate elimina astigmatismul.
2. Oglinda intermediara si oglinda de proiectie
Oglinda intermediară este o lentilă magnetică slabă, cu distanță focală mare și mărire variabilă. Orificiul interior al piesei polare este mai mare, iar mărirea este între 0-20. Când mărirea este mai mare de 1, este folosită pentru a mări oglinda obiectiv; când mărirea este mai mică de 1, este folosită pentru a reduce oglinda obiectiv.
Oglinda de proiecție este o lentilă magnetică puternică cu distanță focală scurtă, folosind pantofi poli simetrici cu deschidere mică în sus și în jos - pentru a obține o mărire mare. Oglinda de proiecție are un anumit curent de excitație, care joacă rolul de a mări imaginea din mijloc și de a o proiecta pe ecranul fluorescent.
3. Amplificare în trei etape
Cea mai mare mărire a unui microscop electronic este determinată de factori precum performanța instrumentului, rezoluția plăcii de bază fotografice (sau a ecranului fluorescent), etc. În general, sistemul de imagistică cu mărire secundară poate obține o imagine electronică mărită cu aproximativ 200,000 ori. Lentila obiectiv mărește detaliile probei de 100 de ori și formează imaginea pe oglinda obiectiv, în timp ce oglinda intermediară mărește imaginea obiectivului de 20 de ori și o imaginează pe oglinda de proiecție; oglinda de proiecție mărește imaginea oglinzii intermediare de 100 de ori și formează imaginea pe ecranul fluorescent. Reglarea numărului de călugări amplificați poate fi realizată prin schimbarea curentului de excitare a inserției din mijloc. După modificarea curentului de excitație al orașului din mijloc, curentul de excitație al lentilei obiectiv trebuie, de asemenea, schimbat în mod corespunzător pentru a se asigura că planul oglinzii lentilei obiectivului este amestecat cu suprafața de montare din mijloc, astfel încât să se obțină o imagine clară a obiectivului. punct focal.
În sistemul de imagistică în trei etape, dacă curentul de excitație al obiectului este modificat, imaginea lentilei obiectivului poate fi realizată sub montura din mijloc.
Oglinda obiect este un „obiect virtual”, care este format într-o mică imagine reală pe suprafața obiectului A a oglinzii de proiecție. Oglinda de proiecție este fotografiată pe ecranul fluorescent, astfel încât să se poată obține o imagine electronică mărită de mii până la zeci de mii de ori. Distorsiunea imaginii produsă prin această metodă poate fi redusă prin compensarea reciprocă a distorsiunii cilindrice a oglinzii intermediare și a distorsiunii în pernuță a oglinzii de proiecție.
Dacă obiectivul este închis și se folosește oglinda intermediară în locul orașului obiect pentru imagini, mărirea poate fi redusă la aproximativ 100-300 plus și se pot obține imagini cu un câmp vizual mai mare.
